我国作为世界最大的液晶电视和智能手机等液晶显示和触控消费品的最大市场,近年来不断加大液晶面板行业的投入,已逐步成长为世界最大的液晶和触控面板生产国。其中,铟锡氧化物(ITO)靶材是液晶显示屏不可或缺的关键材料,由ITO靶材镀膜形成的ITO薄膜因其独特的透光率和导电性以及良好的蚀刻性,可以在玻璃等透明基板上形成透明电路,而这种靶材曾经却极度依赖进口。广东欧莱高新材料股份有限公司(以下简称欧莱新材)深耕靶材研发生产20多年,拥有30多位博士、硕士、本科学历的专业人才组成的研发技术团队,时刻保持行业技术领先水平,打破技术瓶颈,是国内乃至全球少有的半导体显示行业全系列靶材供应商。
为推动溅射靶材供应的本土化进程,实现国产靶材在多个应用领域从无到有的跨越,近年来,我国政府制定了一系列产业政策。在关乎行业战略安全的关键问题面前,广东欧莱高新材料股份有限公司走上靶材国产化道路,先后成立了国家博士后科研工作站、广东省高性能靶材工程技术研究中心、广东省博士工作站等多个研发平台,在解决原材料、攻克技术难题上破冰前行。
摆在欧莱新材面的困境是,全球的靶材制造行业呈现寡头垄断格局,主要由几家美日大企业把持,这些企业实施极其严格的保密措施,限制技术扩散。经过数十名科研人员夜以继日的技术攻关下,欧莱新材在国内率先实现了ITO靶材的热压法、注浆成型--压力烧结法的量产供货。从无到有,欧莱新材摸着石头过河,历经十数年发展,突破重重难关实现取代进口产品的目标,为推动ITO靶材产业发展,增强产业创新能力和打破垄断局面做出贡献。